
加工精度達到 1微米的機械加工方法。精密機械加工是在嚴格控制的環境條件下,使用精密機床和精密量具和量儀來實現的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。
精密機械加工的工藝效果是:
①零件的幾何形狀和相互位置精度達到微米或角秒級;
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微觀不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能滿足配合力的要求;
⑤部分零件還能滿足準確的力學或其他物理特性要求。








目前已有大量的微型機械或微型系統被研究出來,例如:尖端直徑為5μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球,尺寸為7mm×7mm×2mm的微型泵流量可達250μl/min能開動汽車,在磁場中飛行的機器蝴蝶,以及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統為一體的微型慣性組合(MIMU)。德國創造了LIGA工藝,制成了懸臂梁、執行機構以及微型泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數量的1mm的微梁,控制其彎曲角度以影響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產的硅加速度計把微型傳感器(機械部分)和集成電路(電信號源、放大器、信號處理和正檢正電路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范圍內。日本研制的數厘米見方的微型車床可加工精度達1.5μm的微細軸。


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